高精度振鏡掃描光電流測(cè)試系統(tǒng)為微納器件（尤其是片上光電器件）的光電響應(yīng)測(cè)試提供了強(qiáng)大的測(cè)試平臺(tái):
基本配置參數(shù)：
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電學(xué)測(cè)試盒 |
包括：測(cè)試盒，測(cè)試座，測(cè)試線，28針。 |
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光電測(cè)試配置 |
前置放大器SR570，鎖相放大器SR830 |
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樣品臺(tái) |
四維度。XYZ三軸平移，行程13 mm，分辨率1 um。 θ旋轉(zhuǎn)，粗調(diào)360°微調(diào)±7°，最小讀數(shù)0.2°，分辨率0.01° |
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振鏡掃描 |
掃描精度<20nm, 掃描范圍>100um |
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顯微鏡 |
20X，50X，100X |
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激光器 |
532nm，光纖輸出，Thorlabs激光控制器，可任意添加其他波段激光 |
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環(huán)境 |
暗室屏蔽 |
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軟件 |
基于Labview編寫(xiě)，全自動(dòng)掃描，實(shí)時(shí)結(jié)果顯示�？筛鶕�(jù)客戶(hù)需求升級(jí)軟件功能。 |
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其他選配功能 |
低溫（77K），源表I-V測(cè)量（mapping），光譜測(cè)試 |
應(yīng)用領(lǐng)域：
微納器件的光電響應(yīng)測(cè)試，包括：石墨烯，二維材料，微納半導(dǎo)體材料，有機(jī)材料等制備的光電器件表征。
